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镜瑕疵率降低方案:光路畸变的补偿思路、更适应新光刻机的光刻胶,配比和设计、
折
率浸没式投影光刻技术、全新的
功率光源,通过新的光机方案解决……”
写的时候有几分随意,还稍稍涂改调整过,可整体的思路随着后续的备注已经逐步被往
拓展补充完整。
何所长和剩
的其他教授已经粘在白板旁边走不开了,哪怕宁知星和老教授们无奈地推了椅Loading...
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